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材料科学与工程学院直写光刻机采购项目等1项-采购意向
信息来源: ******[查看]
|地区:河南
|类型:采购意向/预告
基本信息
信息类型:采购意向/预告
区域:河南
源发布时间:2025-06-27
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为便于供应商及时了解政府采购信息, 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 ******学院直写光刻机采购项目等1项政府采购意向公开如下:

序号 意向编号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额(万元) 预计采购日期 备注
1 CGYX******2 ******学院直写光刻机采购项目 1. 采购标的名称 直写光刻机 2. 主要功能或目标 支持无掩模光刻,可直接通过计算机控制曝光图形,适用于小批量、高精度、快速原型制作。 具备高分辨率(≤1 μm)及高套刻精度(≤±500 nm),满足微纳加工、MEMS、光子芯片、科研实验等需求。 兼容多种光刻胶(正胶/负胶)及衬底材料(硅片、玻璃、柔性基板等)。 3. 采购数量:1台 4. 质量及技术要求 分辨率:≤1 μm(最优可达800 nm以下)。 曝光面积:支持≥4英寸晶圆或定制尺寸基板。 对准精度:≤±500 nm(具备自动对准功能)。 光源波长:紫外波段(365-405 nm)。 稳定性:连续工作8小时以上无漂移,环境温湿度适应性(20~40°C,湿度40~60%)。 5. 服务要求 安装调试:供应商需提供现场安装、校准及操作培训。 技术维护:保修期≥1年,关键部件保修≥2年。响应时间≤48小时。 备件供应:保障至少5年的耗材供应。 6. 安全要求 符合国际电气安全标准。 具备辐射防护措施。 提供安全操作手册及应急预案。 7. 交付时限 合同签订后≤3个月完成交付(含运输、清关及安装)。 不可抗力因素需提前书面说明并协商调整。 90 2025年07月

******办公室

2025年06月27日

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快照:2025-06-27
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